CVD管式炉供气系统原理
CVD是电放热反应迟钝液相沉积物(ChemicalVaporDeposition)的简写,指中高热下的液相现象,如铝合金制卤化物、有机酸铝合金制、碳氢非五金氧化物物等的热可分解、氢恢复或其混合型喂养物混合气体在中高热下的电放热反应迟钝现象,以沉垫铝合金制、非五金氧化物物、氧化物和其余三聚氰胺树脂相关的原的原材料。这个的的技能原本是对于一项涂覆的技能手段开放的,但近年这不仅应运于耐熱相关的原的原材料的涂覆,还应运于高溶解度铝合金制的制作、金属粉合并、光电器件膜等,这时一位兼具优势的的的技能域。CVD管式炉的的技能特质是:⑴可在超低温下合并高凝固点相关的原的原材料;⑵沉垫材质的行式有多晶硅、多晶、晶须、金属粉、塑料薄膜等;⑶它不...