碳化硅烧结炉

热引导物理化学液相火成岩 (英语图片:chemical vapor deposition ,CVD)是用作不同的电材质,半导建材和重金属建材的防护耐磨涂覆的火成岩的有劲习惯，就算是多晶硅，多晶，无定形或外延性壮态上或大或小的行态。基本特征的耐磨涂覆建材具有热解碳，氢氟酸处理硅，氮化硼。还可以通过运行人工前体，耐磨涂覆非常的纯净系统并目足够半导建材工业生产的基本特征条件，按照施工工艺性能参数，还可以有多个层重量。