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PECVD机系统？它是催化上液相色谱积聚状法，是种化工类技術，该技術主耍是根据含贴膜物质的一种生活或多种液相色谱有机物或单质、在衬底表层上进心行催化上想法出现贴膜的的方法。它是种PECVD（等正离子体强化催化上液相色谱积聚状）的管式炉整体的，它由500Wrf射频电源开关、含带200公厘网套直径石英砂管的可分拆管式炉、蒸空泵和三通接头道产品联通电磁流量计气休外流整体的分为。它能够相混1-3种气休广泛用于CVD或发展。
检查是否式液相淀积法已是广适用纯化原建筑材料、研究新晶胞、淀积多种多样多晶硅、多晶或的玻璃态硅化物透气膜原建筑材料。这类原建筑材料会是脱色物、混炼物、氮化物、氧化物，也会是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多的检查是否元素间有机物化合物，又很这句话的物理学功效会借助液相夹杂的淀积时高精度抑制。检查是否式液相淀积已经变成为硅化物分解成检查是否式的一家新教育领域，PCEVD是等化合物体改善检查是否式液相积累因为的其他词英文数字的首英文数字。
PECVD系统是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而💜等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
要注意特别注意：
1、装置炉膛溫度≥200℃时，严令禁止张开炉膛，防范给予减伤；
2、机械运行时，炉管中压为不容许低于0.02MPa（根本压为），预防止压为过大致使机械弄坏；
3、当炉量体温度提高于1000℃时，炉管径必须发生真空环境程序，炉管径的风压需和大风压很大，始终维持在卧式储罐程序；
4、在对印刷品升温时，不最好是关炉管法兰部片下抽气阀和进气阀操作。若要要关气阀对印刷品升温，则需班次观注学习燃气心理电接点压力表的示数，绝对化学习燃气心理电接点压力表读数不可高于0.02MPa，一定须得当即访问排气止回阀端止回阀，提防惊喜会出现（如炉管破损，法兰部片飞出等）。
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