一般性，GaN基本材料料和集成电路芯片的外延性层主耍生长期的在蓝红月亮石衬底上。蓝红月亮石衬底有成千上万的优缺꧙点：率先，蓝红月亮石衬底的制作技巧旺盛期、集成电路芯片水平良好；第二步，蓝红月亮石的稳定义🎃性特别好，才能运营在较高温度生长期的流程中；后，蓝红月亮石的机制难度高，方便于处理和清洁。如此，大越多越数流程通常情况下都以蓝红月亮石算作衬底材料。

  在表明及智能元器件中，蓝黄月亮石衬底板厚仅有上千微米换算，在蓝黄月亮石衬底的打磨、双层考虑和单层考虑、打磨抛光工作中，⛄就算有些的制造压力会在下第一道制造工艺程序减少，但在这种压力减少是起居不规律减少，还未减少的制造压力会在晶片表面层产业集聚，的会影响蓝黄月亮石晶片的翘曲能力，加重的翘曲会朝后道制造工作会产生破片，的会影响一个制造嵌套循环的晶片质量水平。

  蓝辉石衬底晶片精生产制造流程中，打磨数学作业后要求开展固溶处理处理工艺工艺整理，固溶处理处理工艺工艺前需对衬底开展洁净，将洁净清洗后的衬底放上固溶处理处理工艺工艺炉中开展常温固溶处理处理工艺工艺，🦄以清掉精生产制造流程下列多余的载荷，并消去多余载荷所进而引发的衬底变形。

  华腾创新科技面对业内需求量，悉心新类产品开发有氧和无氧衬底热处理回火炉装备，以需要满足老客户加工厂工艺设计的标准要求，创造自己*的工农业类产品。

蓝辉石晶片无氧降温炉 

 蓝玛瑙晶片有氧热处理炉 

特别

  去扯力：使蓝辉石更加方便加工制作，切屑。

  除掉能力聚集，防止晶片自动式干裂，及工艺中会产生划痕、爆口等。

  去能力退火加工过程变多快波特率不可过快，内直径越大，保温层耗时应越长；温度𒁃下降耗时应以上变多快耗时，逃避下次产生了能力。

  去色心：使蓝藍寶石更透明度，透光更优质。

 方法叁数

 1）无氧渗碳炉

 2）有氧去应力退火炉

 典型应用